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廣州潽拓光電科技有限公司

分子泵開(kāi)啟條件

2024.08.01

分子泵是一種利用高速旋轉的轉子將動(dòng)量傳輸給氣體分子,從而將氣體壓縮并驅向排氣口的真空泵。要開(kāi)啟分子泵,需要滿(mǎn)足以下條件:

1、前級泵的壓力必須達到一定水平:分子泵不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵,并且前級泵的壓力必須達到10Pa才能打開(kāi)分子泵的高閥。
2、冷卻水必須開(kāi)啟:在開(kāi)啟分子泵前,必須打開(kāi)冷卻水閥,以保持轉子的冷卻和潤滑。
3、氣路接口必須正確連接:氣路接口的快接法蘭螺桿應朝上,以防松弛造成漏氣。

 分子泵啟動(dòng)后需要等待數小時(shí)至一整夜的時(shí)間,才能開(kāi)啟質(zhì)譜儀進(jìn)行操作。 具體時(shí)間長(cháng)短受到泵的型號、壓力、環(huán)境溫度以及泵內油的種類(lèi)和質(zhì)量等因素的影響。 同時(shí),在啟動(dòng)前需要對分子泵進(jìn)行前處理,并將真空室抽取至低于10^-2 torr的真空度。